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  • 1篇矿业工程

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期刊

  • 1篇山西能源学院...

年份

  • 1篇2019
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"作者=崔龙辉"
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管式PECVD镀膜均匀性的研究获取全文在线阅读
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出  处:《山西能源学院学报》 2019年第4期100-102,共3页
作  者:杨飞飞 张雁东 崔龙辉
摘  要:本文主要研究管式PECVD后期使用中的镀膜均匀性问题,通过对镀膜沉积的工艺条件、石墨舟饱和工艺参数的分析研究,找出最优的沉积条件与参数,经过改善后,电池片镀膜整体质量有很大提升,片内与片间镀膜颜色的一致性得到保障。
关 键 词:PECVD 电池片 镀膜 石墨舟 
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