管式PECVD镀膜均匀性的研究

摘  要:本文主要研究管式PECVD后期使用中的镀膜均匀性问题,通过对镀膜沉积的工艺条件、石墨舟饱和工艺参数的分析研究,找出最优的沉积条件与参数,经过改善后,电池片镀膜整体质量有很大提升,片内与片间镀膜颜色的一致性得到保障。>>详细

【作  者】杨飞飞[1] 张雁东[1] 崔龙辉[1]

【作者单位】[1]山西潞安太阳能科技有限责任公司,山西长治046000 

【期  刊】《山西能源学院学报》 2019年第4期100-102,共3页

【关 键 词】PECVD 电池片 镀膜 石墨舟 

【分 类 号】TD32

【下载次数】0【在线阅读】108

分享到:

参考文献(共找到条)

相关文献:(共找到条)

作者其它文章更多

82574A
11
分类表关闭X
隐藏
比较
关闭《山西能源学院学报》编辑部重要声明